真空儀器測漏實務

真空系統對漏氣率要求十分嚴格,故.需藉由許多高精密之真空儀表來顯示真空漏氣率及.對真空度的影響。一般氣體原子或分子的直徑約在.10–8cm左右,任何微小的孔都足以 ...

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