有機金屬化學氣相沉積法 | 私立大學五星教授網

液態磊晶技術。 是將磊晶層藉由過飽和的磊晶溶液成長在單晶的基板上。 LPE主要用在發光二極體（LED）上。 液態磊晶技術的優點有：長出高品質的磊晶層，系統成本低，以及材料性質的再現性相當高。

磊晶（英語：Epitaxy），是指一種用於半導體元件製造過程中，在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱磊晶成長（Epitaxial Growth），或指以磊晶 ...

本文以深入淺出之方式，介紹有機金屬氣相磊晶(MOVPE) 系統之構造及其基本原理。自. 1968 年Manasevit 發明此種磊晶技術以來，由於MOVPE 系統可以大量成長化合物半導體 ...

論文摘要於本研究中我們於Si 基板上利用液相磊晶(LPE)法成長Ge/SiGe 的異質接面結構，而一般所知道的液相磊晶法所成長出來的晶格匹配程度限制在小於1%以下，但Si 與Ge 的晶 ...

由 丁建豪 著作 · 2017 — 摘要我們以液相磊晶法來進行砷化鎵同質磊晶與矽鍺異質磊晶，藉此深入了解晶格匹配與晶格不匹配半導體材料橫向磊晶之差異，除了調查磊晶最佳成長參數，並試著改變成長溫度、 ...

由 羅健倫 著作 · 2018 — 因此，本研究中我們使用液相磊晶(Liquid Phase Epitaxy, LPE)法來製備砷化鎵同質磊晶薄膜，藉此改善磊晶基板的品質以供後續更加應用。磊晶過程中使用鎵作為溶媒，並藉由 ...

由橫截面的結果顯示，利用液相磊晶方法可以在矽晶圓上先生成一層單晶碳化矽，再生成一層多晶碳化矽，接著是非晶碳化矽。由電子背向繞射儀和橫截面的結果顯示，所成長的碳化 ...

有機金屬化合物化學氣相沉積法(MOCVD, Metal-organic Chemical Vapor Deposition)，是在基板上生長半導體薄膜的一種方法。 其他類似的名稱如：金屬-有機化合物/金屬 ...

液相磊晶. Liquid Phase Epitaxy (LPE). 以液相磊晶進行詞彙精確檢索結果. 出處/學術領域. 英文詞彙. 中文詞彙. 學術名詞 通訊工程 · LPE · 液相磊晶.