低溫多晶矽

低溫多晶矽(Low-temperaturepolycrystallinesilicon,LTPS)是一種與傳統方法(900°C以上)相比,在相對較低的溫度(~650°C及更低)合成的多晶矽。

低溫多晶矽

低溫多晶矽(Low-temperature polycrystalline silicon,LTPS)是一種與傳統方法(900°C以上)相比,在相對較低的溫度(~650°C及更低)合成的多晶矽。

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