低溫多晶矽(Low-temperaturepolycrystallinesilicon,LTPS)是一種與傳統方法(900°C以上)相比,在相對較低的溫度(~650°C及更低)合成的多晶矽。
低溫多晶矽(Low-temperature polycrystalline silicon,LTPS)是一種與傳統方法(900°C以上)相比,在相對較低的溫度(~650°C及更低)合成的多晶矽。【南臺學校財團法人南臺科技大學電機工程系】蔡明村專任教授評價
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