如何選擇適當表面分析儀器，抓出製程汙染缺陷 | 私立大學五星教授網

Q2. XPS 跟EDS 的差別? A. XPS主要分析表面約0~10nm的元素成份，且可以分析原子序3 (Li)以上的元素；EDS偵測元素深度約1~3um，偵測的原子序為5以上，且較輕的元素靈敏度不高。 EDS為半定量分析, XPS定量較準確；若分析目的是要看較表層的元素成份，建議可由XPS分析。

2018年8月29日 — 一般而言，在尋找製程汙染缺陷上，宜特發現，大部分客戶亦習慣直接使用SEM的EDS做快速的成分分析，然而EDS偵測訊號是來自樣品較「底部」的X光反射，較無法 ...

2020年11月25日 — 1.基本原理不一样: 简单来说，XPS是用X射线打出电子，检测的是电子；EDS则是用电子打出X ...

2023年9月7日 — SEM, 觀察表面形貌和尺寸量測, – 提供高解析度的表面形貌和尺寸資訊- 可搭配EDS進行元素分析 ; XPS, 深層成分、污染源、有機化合物分析，大於10微米以上的 ...

2020年4月1日 — X射线光电子能谱(XPS )是一种表面分析方法，提供的是样品表面的元素含量与形态，而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。 原则上可以测定元素周期表 ...

能量散射X射線譜（Energy-dispersive X-ray spectroscopy，英文縮寫有EDS、EDX、EDXS或XEDS），有時也被稱作能量散射X射線分析（energy dispersive X-ray ...

XPS：X射线光电子能谱分析(XPS, X-ray photoelectron spectroscopy)测试的是物体表面10纳米左右的物质的价态和元素含量，而EDS不能测价态，且测试的深度为几十纳米到几微米 ...

2023年7月3日 — X射线光电子能谱分析(XPS,X-ray photoelectron spectroscopy)测试的是物体表面10纳米左右的物质的价态和元素含量，而EDS不能测价态，且测试的深度为几十 ...

2017年3月6日 — EDS與XPS的不同點： · 1) 基本原理不一樣: 簡單來說，XPS是用X射線打出電子，檢測的是電子；EDS則是用電子打出X射線，檢測的是X射線。 · 2) EDS只能檢測元素 ...

2018年4月2日 — 1) 基本原理不一样: 简单来说，XPS是用X射线打出电子，检测的是电子；EDS则是用电子打出X射线，检测的是X射线。 · 2) EDS只能检测元素的组成与含量，不能 ...