微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹 | 私立大學五星教授網

什麼是VC -Curve 為了解決微振動的問題，人們開始想要制定一套通用的標準，VC-Curve因此出現，VC-C振動曲線是由Eric Ungar 和Colin Gordon 在1980 年代初期開發的。

3. VCC︰此準則為1000 倍以下的光學顯微鏡，1um 製程的光學檢測. 設備和黃光製程 ... VC-B. 130μg between 4Hz and 8Hz;. 25μm/s(1000μin/s) between 8Hz and 80Hz. VC-C.

VC-B. 25 (60dB). 3. 適用於解折度為3 微米之步進式檢驗機. (Stepper)或平板印刷機與多數1000 倍內之. 光學顯微鏡。 VC-C. 12.5 (54dB). 1. 適用於解折為1 微米線寬之平板 ...

由上面測量結果可得到:在X軸方向,於. RC地板在機器啟動後所測數值小於規範VC_. B,但於高架地板上測量到頻率6.2~18Hz 的. 數值及設備上可量測到的所有頻率數值已超出. VC_B ...

... 而針對不同設備的需求，提出. 一個比較廣泛的振動等級圖表(VC Specification)。 1. 工廠. 辦公室. 住宅. 手術室. VC-A. VC-B. VC-C. VC-D. VC-E. VC-F. VC-G. 2. 3. 4. 5. 6.

位置B為VC-E等級: 足以滿足最苛刻的敏感系統，包括長路徑、基於雷射的小目標系統、奈米級工作的電子束微影系統以及其他需要非凡動態穩定性的系統。 位置C為VC-D等級：在大 ...

2023年9月13日 — ... VC-M振动等级的测量基准。 主动隔震台一般能将隔震等级提升一级，例如使用KNS的主动隔震台后，VC-B提升到VC-C。现如今，大部分的隔振台的隔震等级都是VC-A、 ...

VC-B, 1000, 25, 60, 3, 1000倍以下的光學顯微鏡，3μm製程的光學檢測設備及黃光製程設備均可適用此一規格。 VC-C, 500, 12.5, 54, 1, 此準則為1μm製程的光學檢測設備和黃光 ...