該過程既高效又環保,使表面清潔且沒有任何化學殘留物。如果要使用等離子電漿清洗的零件是由易氧化的材料(如:銀或銅)所組成,則建議選擇惰性氣體(如氬氣或氦氣)為反應氣體。電漿中產生的高能氧物質與有機污染物反應主要會形成水和二氧化碳,並陸續從腔室中被排出。
該過程既高效又環保,使表面清潔且沒有任何化學殘留物。 如果要使用等離子電漿清洗的零件是由易氧化的材料(如:銀或銅)所組成,則建議選擇惰性氣體(如氬氣或氦氣)為反應氣體。 電漿中產生的高能氧物質與有機污染物反應主要會形成水和二氧化碳,並陸續從腔室中被排出。【崑山科技大學材料工程系】林甫駿兼任助理教授評價
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