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(1) 電子光學系統:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、像散修正器(Stigmator)、光柵、 樣品室。

像差補償器(Stigmator)：調整電磁透鏡之磁場，用以校正散光像差(Astigmatism)。 8. 第一中間透鏡(Intermediate Lens 1)：調整影像(Image)和繞射(Diffraction)的放大倍率。

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(3) 電子束校正控制(ALIGNMENT)：按下STIG(像差補償器)，以左下圖中的X、Y 旋鈕分別調整. OL Stigmator 的X 軸與Y 軸之像差；按下ALIGN(校正)，可進行Gun Alignment、OL ...

英文“stigmator”國際音标讀音是['stigmætə]，翻譯成中文是“象散校正裝置”。

stigmator ['stigmætə] 名词 ; 一般 · 消像散器; 像散校正装置 ...

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▫散光器(Stigmator)是⼀一個四極透鏡。︒. Page 55. 505mm. 桌上型分析式掃描電鏡之技術. 65kg. 550mm. 475mm. Page 56. electron Gun. 1st condenser lens. 2nd condenser.