掃瞄式電子顯微鏡(SEM)

SEM的主要工作原理為電子鎗透過熱游離或是場發射原理產生高能電子束,經過電磁透鏡組後,可以將電子束聚焦至試片上,利用掃瞄線圈偏折電子束,在試片表面上做二度空 ...

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