光譜反射橢偏儀 | 私立大學五星教授網

量測透明薄膜厚度 · 其他參數量測，如：表面粗糙度、多層膜厚及分散係數等 · 可連續監測參數，提供6種波長之分析報告 · 參數分析可媲美光譜橢圓偏振 ...

从下面表格可以看出, 光谱反射仪通常是薄膜厚度超过10um的首选，而椭偏仪侧重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之间，两种技术都可用。 而且具有快速，简便，成本低特点的 ...

橢圓偏振技術（ellipsometry）是一種多功能和強大的光學技術，可用以取得薄膜的介電性質（複數折射率或介電常數）。它已被應用在許多不同的領域，從基礎研究到工業 ...

由 謝余松 著作 — 橢圓偏光術是一種特殊的薄膜特性量測技術，利用該方法可獲得待測樣品之薄膜厚度、折射率、消光係數. 與表面粗糙度等重要參數。本文探討將橢偏術應用於單層薄膜之膜厚計算 ...

此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率及消光係數等相關資訊，本中心的橢圓偏光儀可依軟體設定，自動改變入射角度，而能 ...

橢偏儀是一種利用光來測量 薄膜厚度和折射率的設備。可以測量非常薄的薄膜，以納米(nm) 為單位測量厚度。 它已被應用在許多不同的領域，從基礎研究到工業應用，如 ...

高精度薄膜解析分光橢偏儀、測定角度可自動調整機構、能對應所有可透光種類的薄膜。以回轉檢光子、位相差板設置自動切換機構使測定精度提升。最小光學膜厚測定範圍 ...

FilmTek™2000 SE結合了光譜橢偏法和DUV多角度偏振反射法，可同時測量薄膜厚度，折射率和消光係數。 我們先進的旋轉補償器設計可在整個Δ（Δ）範圍內實現精度和精度，包括 ...

分析自樣品反射之偏振光的改變，橢圓偏振技術可得到膜厚比探測光本身波長更短的薄膜資訊，小至一個單原子層，甚至更小。橢圓儀可測得複數折射率或介電函數張量，可以此獲得 ...