其主要原理是將室外的風經過MAU，當MAU穩定供應設定露點之補氣時，室內之相對濕度可隨溫度達到設定值。外氣由MAU負責預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻及再熱處理，初步過濾微塵並控制其溫溼度處理後送入潔淨室的迴風夾道內。DCC乾盤管負責處理空氣，將迴風管道間之迴風降溫至無塵室要求之規格、調整至無塵室內所要求的參數。
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