碳化矽晶體成長技術發展

2024年8月5日—碳化矽晶體成長的方法有①高溫化學氣相沉積法、②液相法以及③昇華法,目前市場上主流使用的方法是採用昇華法成長碳化矽晶體,搭配模擬技術瞭解坩堝內部情形以 ...

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