半導體製程元件品質改善之研究

本文研究氧化層的製程技術以及如何提高氧化層的品質。並提出目前常用於偵測氧化層品質的測試方法,針對這些測試方法的物理模型和失效機制進行分析。實驗部分分別從探討氧化 ...

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