半導體製程(二)

下面就來說說此製程的兩個主要步驟。此步驟會用電場加速特定離子,把它們做為雜質射入晶圓。可以用前面提到的曝光顯影技術做出只覆蓋某些區域的光阻,這樣就能讓離子摻 ...

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