第五章電漿基礎原理

體在電漿中會呈現出各種不同的顏色.•電漿發光顏色因氣體成份改變而改變,可被用來作.為決定蝕刻和反應室清潔步驟的終端點(endpoint.)Page4.7.分解.•當電子和分子 ...

第五章電漿基礎原理

體在電漿中會呈現出各種不同的顏色. • 電漿發光顏色因氣體成份改變而改變,可被用來作. 為決定蝕刻和反應室清潔步驟的終端點(endpoint. ) Page 4. 7. 分解. • 當電子和分子 ...

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