MOCVD有機金屬氣相沉積法

2022年5月13日—透過有機金屬化學氣相沉積法,在基板上生長半導體薄膜的方式,同時透過機台即時監控,精確控制磊晶層,完成砷化鎵、磷化銦、氮化鎵等不同產品磊晶片生 ...

MOCVD有機金屬氣相沉積法

2022年5月13日 — 透過有機金屬化學氣相沉積法,在基板上生 長半導體薄膜的方式,同時透過機台即時監 控,精確控制磊晶層,完成砷化鎵、磷化銦、 氮化鎵等不同產品磊晶片生 ...

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