微振動對半導體製程與量測設備的影響 | 私立大學五星教授網

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的 ...

微振動量測 · 可以依據客戶需求，量測設備運轉時對背景微振動的影響，並繪製相關VC曲線，方便客戶比對差異性 · 可以依據客戶需求，量測長期或短期的環境微振動VC曲線變動 ...

微振動量測原理說明：引起環境微振動的來源相當複雜且多樣，微振動量測時需先將精密量測儀器設備置於量測點上，每個測點可分為兩個水平方向與垂直向之振動量。環境微振動 ...

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的 ...

微振動量測屬精密動態量測的範圍，對於量測設備的要求高於一般環境振動 量測設備的需求。資料記錄器與感應器之動態範圍選擇與頻率範圍選擇直接影響量測結果，量測參數設定 ...

當廠房環境振動的條件無法達到設備本身需求的振動規格(Specification)時，將會造成製程設備的良率降低，也會造成量測儀器無法放大更高的倍率以檢測愈來愈細微的線寬，從而 ...

微振動的定義，廣義的來說是頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s. 以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉，或廠. 房其他設備的影響、人員及機具的移動，廠房 ...

振動量的量測參數及表示法,有加速度、速度、位移三種,一般地震級度及構造物受力的. 表示為加速度,而電子廠房微振動較為關心的是速度或位移。各參數的關係為:加速度時間軸.

所謂「微振動」是指頻率在70Hz以下、振幅在10 以下之振動量。目前對於環境微振動之要求準則，大都以Gordon所提之VC-E等五個等級。 振動有大小不同之分別，微小振動只有靠 ...

2016年3月30日 — 當廠房環境振動的條件無法達到設備本身需求的振動規格(Specification)時，將會造成製程設備的良率降低，也會造成量測儀器無法放大更高的倍率以檢測愈來愈 ...