半導體製造業空氣污染管制及排放標準 | 私立大學五星教授網

半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集，並應符合下表規定後始得排放： 前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣，因安全之虞而無法證明符合前項標準 ...

二、揮發性有機物原（物）料年用量大於二十五噸或工廠總排放量大於每小時零點六公斤者，屬既存製程其揮發性有機物排放大於十四ppm 或屬新設製程其揮發性有機物排放大於十ppm ...

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二、考量第一項表列排放標準 係以相同全廠排放量規範 不同規模事業之排放標準， 欠具環保與產能之管理彈 性，亦使主管機關之查核作 業不易執行，爰刪除工廠總 排放量之表 ...

二、揮發性有機物原（物）料年用量大於二十五噸或工廠總排放量大於每小時零點六公斤者，屬既存製程其揮發性有機物排放大於十四ppm或屬新設製程其揮發性有機物排放大於十 ...

2023年5月4日 — 半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集，並應符合下表規定後始得排放： （圖表內容請參閱附件二） 前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之 ...

半導體製造業產生的空氣污染主要為揮發性有機物及酸 ... 根據實際檢測結果，世界先進公司空氣污染物排放濃度及排放量均遠低於行政院環境保護署所核定之許可排放標準。

揮發性有機物. 既存製程. 排放削減率應達九十％或排放濃度十四ppm以下（以甲烷為計算基準）。 ; 揮發性有機物 · 新設製程. 排放削減率應達九十五％或排放濃度十ppm以下（以甲烷為 ...

制定並實施嚴格的半導體製造業空氣污染管制及排放標準至關重要，不僅能保護環境、促進公眾健康，還能提升企業的社會形象和競爭力，實現科技發展和生態維護的雙贏局面。

台積公司致力於空氣汙染減量，除了符合台灣「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」及「固定汙染源空氣汙染物排放標準」外，在空氣汙染防制的做法，採用源頭分類、多段 ...