〈工業技術與資訊〉先進半導體薄膜設備智慧製程技術 | 私立大學五星教授網

薄膜製程是在高真空的腔體中、將欲沉積的材料加熱並通入，使此氣體附著於基板上形成一層薄膜，過程中再經由微調腔體溫度、壓力、電場/磁場、電漿、流量和時間等參數，來改變薄膜材料特性。

ALD技術具有極佳的薄膜成長厚度控制性、階梯覆蓋性與大面積均勻性，此具有極高的應用價值，例如在元件越做越小的半導體產業中，ALD 已逐步取代傳統鍍膜製程。例如在鰭 ...

2022年7月15日 — 半導體是臺灣在全球高科技版圖的代名詞，而半導體的薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上薄膜， ...

薄膜沉積. 沉積製程可形成半導體元件中的介電(絕緣)和金屬(導電)材料層。取決於 ... 光阻去除可去除離子植入或蝕刻步驟之後的光阻薄膜與殘留物。為了清除微粒 ...

2022年7月31日 — 半導體是臺灣在全球高科技版圖的代名詞，而半導體的薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上薄膜， ...

薄膜材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。電子半導體功能器件和光學鍍膜是薄膜技術的主要應用。 一個很為人們熟知的表面技術的應用是家用的鏡子：為了 ...

鋪字訣的目的是在晶圓上鋪上一層薄膜。依照不同用途，這層薄膜可以是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等絕緣體，也可以是金屬。下面舉例幾個常用的製程。 ... ​把晶圓放入烤爐，並通入 ...

2023年6月27日 — 半導體製程元件尺寸越來越小，結構越來越複雜，傳統薄膜製程技術已無法滿足現有半導體製程需求，工研院的「沉積原子層薄膜技術」可改善薄膜沉積速率，並 ...