乾膜光阻去除(Dry Film Stripping)

乾膜光阻去除(PRstripping)製程一般使用WetBench批次設備,如圖1、圖2所示為弘塑科技所製造之300mmwafer全自動WetBench設備,前兩個製程槽(ProcessTank)含有光阻 ...

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