無塵室建置要件

作業原理:將外界空氣以組合式空調箱(AHU)初步過濾後,經風管送至無塵室天花板(氣艙),再由高覆蓋率之HEPA過濾器充分潔淨,自天花板由上而下垂直吹入作業區,剩餘空氣由高架 ...

無塵室建置要件

作業原理: 將外界空氣以組合式空調箱(AHU)初步過濾後,經風管送至無塵室天花板(氣艙),再由高覆蓋率之HEPA過濾器充分潔淨,自天花板由上而下垂直吹入作業區,剩餘空氣由高架 ...

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