微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹

國際標準組織(ISO)還使用.以速度為基準的人體振動標準,該標準已納入標準曲線圖中(圖一)。因此透過微振量測,可以了解設備的VCCurve等級,並以此資.訊進行改善( ...

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國際標準組織(ISO)還使用. 以速度為基準的人體振動標準,該標準已納入標準曲線圖中(圖一)。 因此透過微振量測,可以了解設備的VC Curve 等級,並以此資. 訊進行改善( ...

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