二次電子(Secondaryelectron)因帶有微負電,可以由在側邊具有高正電壓的二次電子感測器所吸引,而使二次電子撞擊感測器。透過掃描樣品不同的位置,可收集到不同的二次電子數量與能量信息,這種信號可提供高解析度的表面高低起伏的形態樣貌訊息。
二次電子(Secondary electron)因帶有微負電,可以由在側邊具有高正電壓的二次電子感測器所吸引,而使二次電子撞擊感測器。 透過掃描樣品不同的位置,可收集到不同的二次電子數量與能量信息,這種信號可提供高解析度的表面高低起伏的形態樣貌訊息。【明志科技大學材料工程系】唐健富兼任助理教授評價
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