掃描式電子顯微鏡(SEM)

掃描式電子顯微鏡(SEM)為利用微小聚焦的電子束進行樣品表面掃描。此電子束與樣品間的交互作用會激發出各種訊號,如:二次電子、背向散射電子及特性X光,SEM即是收集二次 ...

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