1. 機台功能簡介

本機台MirraMesa為AMAT美國應用材料公司所出產之8英吋化學機械研.磨機,其主要應用於前段STI或SOI或通道層(poly-Si/Oxide/Nitride)之平坦.

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本機台Mirra Mesa 為AMAT 美國應用材料公司所出產之8 英吋化學機械研. 磨機,其主要應用於前段STI 或SOI 或通道層(poly-Si/Oxide/Nitride)之平坦.

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