1.先進半導體薄膜製程設備規畫建置。2.下世代半導體3.中心專案計畫所需的各類薄膜材料製程(原子層沉積/物理氣相沉積及化學氣相沉積等薄膜)規劃與執行。4.半導體元件整合與驗證。
1. 先進半導體薄膜製程設備規畫建置。 2. 下世代半導體 3. 中心專案計畫所需的各類薄膜材料製程(原子層沉積/物理氣相沉積及化學氣相沉積等薄膜)規劃與執行。 4. 半導體元件整合與驗證。【遠東科技大學機械工程系】朱清俊專任副教授評價
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