微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹 | 私立大學五星教授網

我們可以利用微振去做的事情：. 一、微振量测：. 1. 素地量测. 2. 成廠廠房樓板量測. 3. 機台進場前後基座微振量測. 我們使用的設備. 由於微振量測必須量測極微小振動，對於感 ...

微振動量測原理說明：引起環境微振動的來源相當複雜且多樣，微振動量測時需先將精密量測儀器設備置於量測點上，每個測點可分為兩個水平方向與垂直向之振動量。環境微振動訊號 ...

微振動量測屬精密動態量測的範圍，對於量測設備的要求高於一般環境振動 量測設備的需求。資料記錄器與感應器之動態範圍選擇與頻率範圍選擇直接影響量測結果，量測參數設定如： ...

本公司針對現有規範VC振動曲線給定建議值提供微振動量測與監測之服務，可有效協助客戶評估使用環境場域的振動等級，以判定周遭環境是否符合工作需求。量測案例如下圖所示。

微振動量測 · 可以依據客戶需求，量測設備運轉時對背景微振動的影響，並繪製相關VC曲線，方便客戶比對差異性 · 可以依據客戶需求，量測長期或短期的環境微振動VC曲線變動情形， ...

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的 ...

1. 液晶LCD顯示，重量輕，操作簡單。 · 2. 可同時顯示「位移」、「速度」和「加速度」三參數。 · 3. 使用壓電加速度感測器轉換成振動信號。 · 4. 量測頻率範圍寬，加速度模式下 ...

微振動量測屬精密動態量測的範圍,對於. 量測設備的要求高於一般環境振動量測設備的. 需求。資料記錄器與感應器之動態範圍選擇與. 頻率範圍選擇直接影響量測結果,量測參數設.

VMS®-EM環境微振動檢測分析儀的長時間環境微振動功能，量測時間最長可到3小時，每10秒平均出一筆振動速度頻譜與VC曲線進行比對，軟體內附VC曲線等級敘述對照表，讓使用者更能夠 ...

因此透過微振量測，可以了解設備的VC Curve 等級，並以此資. 訊進行改善（可能透過被動或主動隔振系統），提升產品良率及檢測. 效率。 有越來越多半導體設備商，如光學檢測機廠商 ...