氣體管路測試方法與原理

1.保壓-禁油自記壓力器(PressureRecorder)。2.氦測漏-Alctel或Leybold。3.Particle-PMSParticleCounter。

氣體管路測試方法與原理

1.保壓- 禁油自記壓力器(Pressure Recorder)。 2.氦測漏- Alctel 或Leybold。 3.Particle - PMS Particle Counter。

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