高介電常數蒸鍍材料 | 私立大學五星教授網

介電質可以是固體，液體，或氣體。 另外，高真空也是一種有用、無損失的介電質，雖然其相對電容率僅為1。 固態介電質被廣泛使用於電子工業，是非常優良的絕緣體，例如瓷器、玻璃、大多數種類的塑膠。 三種最廣泛使用的氣態介電質（gaseous dielectric）為空氣、氮氣與六氟化硫。

2021年7月9日 — 介電質經常是絕緣體。其例子包括瓷器(陶器)，雲母，玻璃，塑料，和各種金屬氧化物。有些液體和氣體可以作為好的介電 ...

低介電係數材料（low-K材料）是當前半導體行業研究的熱門話題。通過降低積體電路中使用的介電材料的介電係數，降低導線之間的電容效應，降低積體電路發熱等等。低介電係數 ...

高介電常數蒸鍍材料: High-k意指高介電常數，是用以衡量一種材料能儲存多少電荷。 空氣是此一常數的參考點，其k值為1。 High-k材料，如HfO2、ZrO2及TiO2，具有超過二氧化 ...

介電絕緣保護層. 應用. 應用於觸控面板感應器，可用於金屬電極間的介電層及包覆線路的透明保護塗層。此塗層須具備良好的絕緣特性、對於ITO 與金屬電極有極佳的附著性、優良 ...

由 黃國容 著作 · 2005 — 二氧化鉿由於它的高介電係數(κ＝25)以及良好的熱穩定性【11】，在 互補型金屬氧化物半導體上成為近來最受人矚目的介電層材料。

介電層材料. 相變化光碟片起初多以ZnS為介電材料，其易於晶粒成長且熱傳導速率較高，並非作為相變化光碟片之最佳介電材料；遂加入20~30mol% SiO2，如此一來不但解決了 ...

本文將探討低介電常數材料之特性及其在製程整合上之技術挑戰。 此外，在文中也將介紹將低介電常數材料應用於薄膜電晶體顯示陣列上的新穎製程技 術。

這些低介電值材料在製造10 至12 層金屬層結構時，暴露於超過150 項製程步驟中，因此必須能夠耐受封裝和組裝的應力。電漿蝕刻、灰化光阻、濕式清潔、化學機械平坦化以及進行阻 ...