橢圓偏光術(ellipsometry)為利用偏振光射入到待測樣本表面,分析反射光偏振態的一種精密量測技術。
橢圓偏光術 ( ellipsometry ) 為利用偏振光射入到待測樣本表面,分析反射光偏振態的一種精密量測技術。
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