微型真空計發展趨勢與校正 | 私立大學五星教授網

真空計依學理方式分類之方法眾多【1-3】, 量測實務上則依工作方式分類為直接與間接 式2種,直接式真空計有:巴登管式(Bourdon Tube)、膜片式、電容式、…等類型真空計, 其壓力讀值與量測的氣體種類無關;間接式真 空計有:熱偶式、派藍尼(Pirani)、離子式、… 等類型真空計,其壓力讀值與量測的氣體種類 有關 ...

在這個分類下，有我們常見的派蘭尼式真空計（Pirani Gauge）、離子式真空計（Ion Gauge）、冷陰極真空計（Cold Cathode Gauge）等，下圖是這些常見真空計的適用工作壓力範圍。

高真空及超高真空範圍用的真空計種類. 冷陰極離子真空計. 冷陰極離子真空計. 熱陰極離子真空計. 倒位三極管真空計. 外集式離子真空計. 抽取式離子真空計. 24 ...

皮拉尼真空计：通用型(GP系列) · 皮拉尼真空计：传感器类型（G-TRAN系列） · 电离真空计：通用型(GI系列) · 电离真空计：传感器型(G-TRAN系列) · 电容测量仪（隔膜真空计）：传感器型(G- ...

真空计按真空度刻度方法可分为绝对真空计、相对真空计；按真空计测量原理可分为直接测量真空计和间接测量真空计。

具有氣體相關壓力讀數的真空計包括：具有不同設計的減壓計、熱傳導式真空計以及離子化真空計。 儀器包含實際感應器(儀表頭、感應器) 以及操作感應器所需的控制裝置 ...

真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学 ...

真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高， ...