（ionimplantator）將半導體元件製程中所需的雜質.以離子布置手段植入半導體晶元中，如超大型積體電路.（VLSI）等的製程即為常用此技術.離子布置用來作表面修飾 ...,“半導體製造設備”。之重要性:真空科技對半導體製造設備.PRO.Page2.一般半導體製程約分為四大類:分別為.對準顯影區(photolithography,俗稱photo或.黃光區)、蝕刻區 ...,2022年8月30日—摘要：臺灣半導體設備規模逐年擴大，面臨能源短缺議題與節能減碳的推廣，真空製程設備朝向降低能源使用率與提升能源效率等目標製造，因此，逐步運用 ...,真空幫浦在工業上的應用有愈來...
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