2013年8月14日—廠務主要分為：.1.無塵室系統的設計概念。2.無塵室系統的污染控制。3.廠務空調系統。4.超純水系統。5.氣體供應系統。6.化學品的供應系統。,由黃心寧著作·2007—化學藥品供應和安全監視等廠務八大系統。（馬榮華2004）.廠房建構主要含蓋了潔淨室(FAB)、廠務供應系統(CUB)、辦公室，然而半導體.產業廠務系統所扮演的角色乃是提供IC ...,機台冷卻循環系統-供水泵浦.此供水系統功能是將暫存桶內之冷卻水送至無塵室內機台端降溫使用。1、自動模式下，供水馬達兩組交替使用，設定八小時交換一次，一次.僅 ...,【Level-0】設備...
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