微振動對半導體製程與量測設備的影響 | 私立大學五星教授網

2016年3月30日 — 當廠房環境振動的條件無法達到設備本身需求的振動規格(Specification)時，將會造成製程設備的良率降低，也會造成量測儀器無法放大更高的倍率以檢測愈來愈 ...

四、微振動對廠內設備的影響及因應方式. 對於高精度需求設備而言，特別是半導體的 ... 的振動規格時，將會造成製程良率降低，也會造成量測儀器無法透過. 更高的倍率，來 ...

當廠房環境振動的條件無法達到設備本身需求的振動規格(Specification)時，將會造成製程設備的良率降低，也會造成量測儀器無法放大更高的倍率以檢測愈來愈細微的線寬，從而 ...

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的 ...

近年由於電子、半導體領域製程精進，即使微小的振動也會對良率造成影響，對於微振量測要求越來越大，譜威提供的微振量測服務已是業界公認可信賴的第三方檢測單位， ...

由 蔡尚諺 著作 · 2005 — 科技廠房的微振動主要是由環境擾動或機具運轉所致。其振動量比起. 結構之地震反應要小好幾各位階（order），對設備或製程之影響範圍則屬.

由 蔡英宏 著作 · 2003 — (3) 潔淨室(cleanroom)樓板與機製程台之振動量測與. 分析[10-12] ；例如Gordon 和Tran [10]首先提出製程機台與樓板連接. 之機座設計對製程機台微振動之影響機制。(4) 機 ...

微振動與半導體晶圓製程等設備之生產良率. 息息相關,因此廠房及其周邊基地之微振動量與. 防制問題能否有效解決,將是國內科技產業維持. 競爭優勢的重要課題之一。科技廠房 ...

當廠房環境振動的條件無法達到設備本身需求的振動規格時，將會造成製程設備的良率降低，也會造成量測儀器無法放大更高的倍率以檢測愈來愈細微的線寬，從而影響到整個高階 ...