,微機電系統（英語：MicroelectromechanicalSystems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米尺度內。微機電系統由尺寸 ...,◎其他非矽精密加工技術.Page17.交大機械徐文祥.17.最初是應用在積體電路，後來成為微機電系統.主要製造技術之一，是以蝕刻矽晶片本身作微.結構的技術。體型微加工 ...,微機電系統(Micro-Electro-Mechanics-System，MEMS)係整合電子、機械、材料、.光學等工程技術於一微小元件，使其具有一特殊功能的系統元件，我們亦稱之為微系統.( ...,2022年12月26日—微機電系統...
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