光譜式橢圓偏光儀（Ellipsometer）主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率及消光 ...,橢圓偏振技術（ellipsometry）是一種多功能和強大的光學技術，可用以取得薄膜的介電性質（複數折射率或介電常數）。它已被應用在許多不同的領域，從基礎研究到工業應用，如 ...,M-2000是第一款真正擅長從in-situ監測和鍍膜過程控製到大面積均勻性量測和表徵薄膜折射率的橢偏儀。沒有其他橢偏儀技術能夠更快地獲得全光譜橢偏數據量測。除此以外，M- ...,...
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