儀器簡介橢圓偏光術是一種非接觸式、非破壞性，以光學技術量測表面薄膜特性的方法。當一束偏極光經過物體表面或界面時，其極化狀態會被改變。而橢圓儀就是藉由偵測樣品表面的反射光，來量測此改變(既反射光和入射光的振幅及相位的改變量)，以決定表面特性和薄膜的光學常數(n,k值)及膜厚。,基本原理此技術係在測量光在入射樣品時，其反射光偏振性質與入射光偏振性質的改變。通常，橢圓偏振在反射模式下進行。偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如厚度、複折 ...,橢圓偏光法，是藉由入射光與反射光的偏振狀態不同，使用照射前的P偏振光...
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