,光譜式橢圓偏光儀（Ellipsometer）主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率 ...,橢圓偏光術是一種非接觸式、非破壞性，以光學技術量測表面薄膜特性的方法。當一束偏極光經過物體表面或界面時，其極化狀態會被改變。而橢圓儀就是藉由偵測樣品表面的 ...,橢偏儀(Ellipsometry)是一種利用橢圓偏振光來進行光學常數測量的一種技術。由於同時考慮已知偏振態的入射光和由待測物反射後之反射光的振幅變化及相位變.化（圖5-1 ...,由趙于飛著作—橢圓...
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