,基本原理編輯...此技術係在測量光在入射樣品時，其反射光偏振性質與入射光偏振性質的改變。通常，橢圓偏振在反射模式下進行。偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如厚度、 ...,由李康源著作·2005—...橢圓偏光技術所發展出來的儀器即為橢圓儀.(Ellipsometer)，根據運作原理的不同，橢圓儀大致上可分為歸零式.橢圓儀(nullingellipsometer)與亮度式橢圓儀(photometric.,由趙于飛著作—橢圓偏光儀基本上是利用反射光相對於入射光偏極態的轉變，以反推介質的光學特性。為了測量變化中的.材料，如電漿蝕刻薄膜、真空鍍膜過程的沉積速率和厚...
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