無塵室回風道 | 私立大學五星教授網

FFU吸氣進潔淨室維持氣流循環，而其溫度由回風道之熱交換器控制。個別房間不同的潔淨度以FFU的數量來控制，由於FFU位置分散，再維修上比較不易。

2023年12月11日 — 外氣由MAU 負責進行預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻和加熱的處理，將微塵初步過濾並控制其溫溼度，然後送入無塵室的迴風道內。 ... 最後，將潔凈空氣供應回無 ...

... 回風管道間（Mech. Chase），將無塵室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至無塵室要求之規格，透過循環 ...

Clean room／無塵室／潔靜室 > ... (CROSS FLOW). 一邊牆壁全面設置HEPA過濾路,清淨空氣由對邊牆壁的回風系統依水平方向回風(清淨度:CLAS100〜1.000) ... BAY型潔淨風道中央 ...

... 值。經由DCC將回風管道間之回風降溫至無塵室要求之規格，透過FFU帶動無塵室的氣流循環帶走微塵及熱量，最後經過超高效能過濾網過濾後，供應回無塵室內的Fab區。

空氣由空調箱經風管與分布於無塵室上方天花板之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，並由無塵室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而成不規則之亂流或渦流狀態。此 ...

潔淨循環氣流流型與選用. 單一方向流式潔淨室大多具有高架地板(Rise floor)或回風. 層(Return air plenum)的構造，而且多半須搭配回風道. (Return air shaft)，空間 ...

2023年9月15日 — 空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁與夭花板之回風系統回風，塵埃隨風向排於室外。適用手術室、電腦機房，與自動化倉儲系統。 潔淨度：Class 100 ~ 1,000.

潔淨室、上回風層、下回風層及管橋應依循環氣流、空間特性，設置火警自動警報設備或吸氣式（Aspirating Type）偵煙探測系統，其訊號應移報及整合於火警受信總機或其他控制 ...