MAU（Make-upAirUnit），也稱為外氣空調箱，對無塵室環境的影響最大。主要功能是控制露點、製造潔凈空氣並確保無塵室保持正壓。無塵室需要恆溫恆濕的新鮮空氣，因此 ...,無塵室空調系統是指藉由空調來改善內部空氣品質、使室內空間成為一個低污然的環境。而空調系統的運作除了可以控制室內溫度外，也可以過濾室內懸浮微粒、粉塵等空氣裡的 ...,空調氣流系統·作業原理：將外界空氣以組合式空調箱(AHU)初步過濾後，經風管送至無塵室天花板(氣艙)，再由高覆蓋率之HEPA過濾器充分潔淨，自天花板由上而下垂直吹入作業區 ...,2023年9月15日—...
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