超高真空系統操作標準作業程序.一、注意事項.1.根據實驗室規範，操作本系統前，必須取得合格操作人執照。2.為了增進抽真空效率，如非必要腔體應避免暴露於大氣環境 ...,通常選擇真空幫浦時應考慮要能維持此真空系統操作的.通常選擇真空幫浦時應考慮要能維持此真空系統操作的.壓力範圍.抽氣速率.抽氣速率一般多用為真空幫浦的 ...,除真空計以外，還有在達到特定壓力時透過接觸放大器觸發切換操作(而不顯示測量值)的隔膜壓力開關。舉例來說，閥也可以透過此類切換操作來控制。真空系統的自動保護、監控 ...,真空腔體系統的設計、控制與...
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