磁控濺鍍機原理 | 私立大學五星教授網

由濺鍍原理可知，基板負偏壓的施加，對鍍膜過程有以下幾個作用：. (一)驅動電漿中氬離子(Ar+)對基板作轟擊效應，可達到再濺射作用. (re-sputtering)而排除薄膜沈積過程中之 ...

一額外磁場，促使電子運動軌跡沿磁力線方向以螺. 旋狀路徑迴旋前進，並將電子束縛於靶面特定環形. 區域中，藉以增加電子與氬氣分子碰撞之機率。 ○ 磁控濺射之目的旨在利用 ...

由 楊偉仁 著作 · 2013 — 高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)藉由調整脈衝中斷時間，將能量累積於電. 容，瞬間釋放出來，使靶材原子獲得更強大的能量濺射到基板，增加薄膜. 的緻密性、附著力與晶體結構， ...

而濺鍍之原理是在真空腔體中以靶材為陰極，通入惰性氣體，氣體內少量的自由電子受到外加電場作用，電子在電場中會被加速獲得能量，在低壓分子間平均自由徑比常壓長，故電子 ...

磁控濺鍍(Magnetron Sputtering Deposition). 在濺鍍系統中加一磁場，則電子將會沿磁力線前進，因此可以增加電子移動路徑長度，使離. 子化機率提高，增加濺鍍速率。 而因 ...

使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓，讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿，並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，以 ...

實驗目的：. 以磁控射頻濺鍍的方式在玻璃上鍍鋁，使同學了解濺鍍流程。 實驗原理： ... 在陰極靶材和射頻電源產生器間安裝一個阻隔電容，如下圖，隔絕直流電壓成. 份，如此一 ...

由 曾泰銓 著作 · 2006 — 整理前述研究動機將本研究目的列舉如下：. 1.以射頻磁控濺鍍金屬鈀與氧化鈀，探討濺鍍參數與薄膜特性的關聯性。 2.探討金屬鈀與氧化鈀的電子場發射特性與濺鍍參數之關聯性 ...