1.為什麼鍍膜需抽真空？2.粗抽、細抽分別需要何種幫浦在運作？3.本系統有兩處放氣活門，其放氣時機為何？目的何在？4.本實驗所採用的高真空計為何種？工作原理 ...,真空度(粗抽)，之後須再串接高真空幫浦，才.能達到10-6~10-7Torr的真空程度(細抽)。...確定壓力抽至5E-2後，關閉RV，打開FV，打開MV，進行細抽，約需一個半小時。4.降速.,此種結拖物質在靜態真空系統中之應.用如真空管(vacuumtube)，當抽完真空封閉時，封入結拖物質.之細...valve)，讓Rotarypump對腔體進行粗抽。此處需注意的是腔體.與 ...,由邱祺雄著作·2004—啟動渦輪...
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