,若薄膜位於不透明基質上，例如晶圓，可使用反射測量以測量其厚度。若薄膜位於透明基質上，或者僅分析薄膜本身，可使用透射測量以測量其厚度。在薄膜厚度測量中，薄膜的表面 ...,為利用特定範圍的光波段,垂直(幾乎).地射入待測膜,再測出其反射量,進而算出各.項參數。為了達到產品設計的各種應用功能,對.於膜的厚度、成分、粗糙度…等參數 ...,光學膜厚量測儀主要是使用垂直的光源入射樣品，偵測反射光譜的非接觸技術，不需要任何樣品準備就可以測量厚度，適用於半透膜樣品，只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可 ...,光學式的膜厚量測有不...
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