高速的電子的波長比可見光的波長短（波粒二象性），而顯微鏡的解析度受其使用的波長的限制，因此電子顯微鏡的解析度（約0.2奈米）遠高於光學顯微鏡的解析度（約200奈米）。,2022年5月16日—電子顯微鏡的解析度是光學顯微鏡的1,000倍之多，甚至達到奈米等級。電子顯微鏡主要分為SEM及TEM兩種。前者藉由電子束掃描樣品的表面，使樣品表面上產生 ...,2023年3月10日—...電子顯微鏡至少可達0.9～2埃的解析度，遠勝過一般光學顯微鏡的解析度。因此，對半導體廠的分析部門來說，電子顯微鏡相當重要。電子顯微鏡具有解析度 ...,2023年7月18日—....
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