電漿為一種帶有等量的正電荷與負電荷的離子化氣體,它是由離子、電子與中性的原子或分子所組成的。,電漿是由陽離子、中性粒子、自由電子·電漿的導電性和其帶有的電場的強度和範圍,意味著在足夠大的體積內,正負電荷大體相等,是為「準中性」(英語:Quasineutral),但 ...,2024年3月29日—電漿(Plasma),又被稱為離子化氣體,為固態、液態和氣態之外的第四大物質狀態,通常在熱和電場的條件下生成。電漿產生的方法包含:「射頻放電」、「直流 ...,游離率主要決定於電漿中的電子能量.2.在大部分的電漿製程反應室中,游離率.都低於0.001...
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