,步驟，如煮酸、蝕刻、.沖水等項）.▫重要規格：.▫有機清洗1台.▫無機清洗1台...以活性離子蝕刻.為例，就是利用電漿放電方式進.行異向性蝕刻的方法。▫在電漿的 ...,體在電漿中會呈現出各種不同的顏色.•電漿發光顏色因氣體成份改變而改變,可被用來作.為決定蝕刻和反應室清潔步驟的終端點（endpoint.）Page4.7.分解.•當電子和 ...,離子蝕刻兼具物理與化學的特性，係適當的選擇與薄膜進行反應(蝕.刻)之氣體，通入反應室中並解離成電漿，並施與一偏壓，讓離子轟擊與.電漿蝕刻同時進行，所以具有某種 ...,...蝕刻、複合蝕刻...蝕刻時，電漿蝕...
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