真空系統的設計、腔體設計及.控制與操作及軟體撰寫.陳智明.0932578559.1.2019/12/25.AdvancedHivacApplicationCoLtd,冰研應用股份有限公司 ...,動態真空系統至少應有一真空幫浦（vacuumpump）用.動態真空系統至少應有一...幫浦的數量及型式隨真空系統的設計而不同，幫浦可經管.幫浦的數量及型式隨真空 ...,書名：真空系統設計，語言：簡體中文，ISBN：9787502461454，頁數：495，出版社：冶金工業出版社，作者：張以忱，出版日期：2013/01/01，類別：自然科普與應用科學.,測漏－Edwards真空系統的防漏密封設計一般皆達到<1x10-3mba...
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