光譜分析儀(OpticalEmissionSpectrometer，OES）即是以火花放電(spark)將原子之電子激發到能量較高的軌域，當電子再返回到原軌域時，以轉換為相對射線釋放出其能量差，射線可以使用波長來區分，因每一元素原子序及結構不同，所獲得射線種類及其光譜亦不同。,2004年9月5日—本文討論光放射光譜(OpticalEmissionSpectroscopy;OES)之原理和電漿製程監測之應用。OES技術為一種非侵入式量測，適合電漿之診斷。,通常OES系統會使用電極產生高電壓放電，使表面材料產生熱至消融點。然後汽化分子會被電弧或火花所產生的氬氣電漿激發出來。這會使...
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