Pvd,物理氣象沉積英文:Physicalvapordeposition,工業製造裡鍍膜技術的一種,主要利用物理方式來加熱或激發出材料過程來沉積薄膜的技術,物理方式是指物質的相變化現象 ...,PVD(Physicalvapordeposition)物理氣相沉積技術:在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜製作技術。主要方法包括蒸鍍、濺鍍和離子鍍。,PVD沉積製程使用於建立超薄、超純金屬和過渡金屬氮化物薄膜可以為半導體製造的各種邏輯和記憶體應用。最常見的PVD應用是鋁板和焊盤金屬、鈦和氮化鈦線性層、阻障層沉積、 ...,物理氣相沉積法(PVD)是指利用...
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【南臺學校財團法人南臺科技大學光電工程系】吳文端專任副教授評價
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